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    中微公司Primo Menova?12寸金屬刻蝕設備全球首臺機付運

    2025-06-24 21:18  來源：證券日報網 

        本報訊 （記者孫文青）6月24日，據中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）官微消息，公司Primo Menova™12寸金屬刻蝕設備全球首臺機順利付運國內一家重要集成電路研發設計及制造服務商。

        公開資料顯示，中微公司的12英寸ICP單腔刻蝕設備Primo Menova™專注于金屬刻蝕，尤其擅長于金屬Al線、Al塊的刻蝕，可廣泛應用于功率半導體、存儲器件和先進邏輯芯片的制造。

        此項里程碑既標志著中微公司在等離子體刻蝕領域的又一自主創新，也彰顯了公司持續研發的技術能力與穩步發展的綜合實力。目前，公司的等離子體刻蝕設備已應用在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進的集成電路加工制造生產線及先進存儲、先進封裝生產線。

    （編輯 張鈺鵬）

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